產(chǎn)品介紹
擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一,用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝
擴(kuò)散/氧化爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)線重要工藝,擴(kuò)散是在高溫條件下,利用熱擴(kuò)散原理將雜質(zhì)元素按要求的深度摻入硅襯底中,使其具有特定的濃度分布,達(dá)到改變材料的電學(xué)特性,形成半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)的目的??捎糜谥谱鱌N結(jié)或構(gòu)成集成電路中的電阻、電容、二極管和晶體管等器件。氧化是將硅片放置于氧氣或水蒸氣的氛圍中進(jìn)行高溫?zé)崽幚?,在硅片表面形成氧化膜的過(guò)程,可作為離子注入的阻擋層及注入穿透層、表面鈍化、器件結(jié)構(gòu)的介質(zhì)層等。
擴(kuò)散爐有垂直擴(kuò)散爐(vertical)和水平擴(kuò)散爐(horizontal)兩種類(lèi)型。
垂直擴(kuò)散爐是石英舟垂直于水平面,更加有利于機(jī)械手傳送硅片,片內(nèi)工藝參數(shù)一致性更好。
水平擴(kuò)散爐是石英舟平行于水平面,一臺(tái)可以4個(gè)或4個(gè)以上的工藝爐管,平均爐管的占地面積更小,片間的工藝參數(shù)較垂直擴(kuò)散爐更好。
擴(kuò)散爐由控制系統(tǒng)、進(jìn)出舟系統(tǒng)、爐體加熱系統(tǒng)和氣體控制系統(tǒng)等組成。
控制部分包括:溫控器、功率部件、超溫保護(hù)部件、系統(tǒng)控制。
系統(tǒng)控制部分有四個(gè)獨(dú)立的計(jì)算機(jī)控制單元,分別控制每層爐管的推舟、爐溫及氣路部分,是擴(kuò)散/氧化系統(tǒng)的控制中心。
輔助控制系統(tǒng),包括推舟控制裝置、保護(hù)電路、電路轉(zhuǎn)接控制、三相電源指示燈、照明、凈化及抽風(fēng)開(kāi)關(guān)等。
較先進(jìn)的擴(kuò)散爐控制系統(tǒng)均已更新或升級(jí)到微機(jī)控制,管機(jī)與主機(jī)間通過(guò)串口RS232或網(wǎng)線進(jìn)行通信??刂葡到y(tǒng)軟件大多基于Windows系統(tǒng),實(shí)用性和可操作性大大提高,能夠?qū)崿F(xiàn)日志記錄,曲線記錄,程序編輯,遠(yuǎn)程控制等多種功能。
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